氦氖激光器是發明時間zui早、技術zui成熟、應用的激光器之一。由于氣體原子具有確定的能級結構,在外界電子激發下將發生能級躍遷,產生受激輻射發出激光,因此氦氖激光器產生的激光是波長純凈的單色光,波長誤差只有幾納米,并具有極大的相干長度,并且不受溫度波動影響,加上諧振腔的作用,保障了激光輸出具有良好的準直性(發散角只有幾個毫弧度)。在需要良好單色光、相干性和準直性的場合,特別是光器具有廣泛應用。氦氖激光器主要缺點是需要數千伏的高壓直流供電,電源易出故障,此外氦氖激光器僅有單一的紅光,沒有其他波長的光,選擇余地受限制。